一、 開機(jī)說明
冷啟動步驟
1、啟動UPS
打開墻上空氣開關(guān)，確認(rèn)UPS后面電池開關(guān)打開，按前面面板上On鍵至兩個綠燈亮。
2、啟動循環(huán)水冷機(jī)。
按On鍵，確認(rèn)水泵1和制冷指示燈亮。
檢查出水口壓力在2~3bar。出水口壓力可由壓力表下方閥門調(diào)節(jié)。
若有報警，檢查水位，按Res鍵。
3、啟動空氣壓縮機(jī)。.
確認(rèn)空氣壓縮機(jī)上啟動閥門上開關(guān)為“1”狀態(tài)。檢查輸出氣壓為5~ 6bar.
4、確認(rèn)主機(jī)后兩個電源開關(guān)狀態(tài)為On.
此時，主機(jī)前面板上紅燈亮。
5、按下黃鍵。.
說明:前級真空泵進(jìn)入工作狀態(tài)，分子泵、潘寧計和離子泵自動順序啟動。
6、按下綠鍵。
按下綠鍵后，電腦會自動啟動，輸入計算機(jī)密碼: .
7、啟動SmartSEM軟件。
用戶名: system
密碼:
8、檢查真空值，等待真空就緒。
△注意:當(dāng)System Vacuum<2X 10'mBar時，會自動打開CIV閥門(column isolation valve),并啟動離子泵。
當(dāng)Gun Vacuum=<5 X 10^mBar時，可啟動燈絲。若長期停機(jī)，需做烘烤。
9、開啟燈絲。
10、開Tv,檢查樣品臺。
11、裝樣品(見第二部分)。
12、加高壓(EHT)。
13、觀察樣品。
待機(jī)狀態(tài)
1、關(guān)閉高壓(EHT)。 .
2、關(guān)閉SmartSEM軟件。
注意:分兩步，先關(guān)用戶界面User Interface,后關(guān)后臺程序EM Server.
3、關(guān)Windows。
4、必要時，關(guān)能譜、EBSD.
5、按下黃鍵
此時，電子光學(xué)系統(tǒng)、樣品臺及檢測系統(tǒng)電源關(guān)閉。電鏡真空系統(tǒng)和燈絲繼續(xù)工作。
待機(jī)狀態(tài)啟動
1、按下綠鍵。
按下綠鍵后，電腦會自動啟動，輸入計算機(jī)密碼:
2、啟動SmartSEM軟件。
用戶名: system
密碼:
3、檢查真空值。
4、換樣或加高壓觀察樣品。
關(guān)機(jī)步驟
1、關(guān)高壓(EHT)和燈絲。
2、關(guān)SmartSEM軟件。
注意:分兩步，先關(guān)用戶界面User Interface，后關(guān)后臺程序EM Server.
3、關(guān)Windows.
4、關(guān)能譜、EBSD.
5、按下黃鍵，等待~10秒鐘。
等待電子光學(xué)系統(tǒng)、樣品臺及檢測系統(tǒng)電源關(guān)閉。
6、按下紅鍵。
7、關(guān)循環(huán)水冷機(jī)。
8、必要時，關(guān)氮氣總閥門。
9、必要時，關(guān)UPS.
10、必要時，關(guān)墻上空氣開關(guān)。
烘烤步驟
1、確認(rèn)高壓(EHT)和燈 絲關(guān)閉。
2、撥出高壓電線.
先松開四顆螺絲，拔出高壓頭。
3、打開監(jiān)控軟件Gun Monitor.
設(shè)置監(jiān)控Gun Vacuum和System Vacuum參數(shù)，時間間隔1s。
4、開始烘烤
菜單欄Tools→go to panel→bakeout,打開Bakeout界面，設(shè)定加熱時間8~20h，冷卻時間設(shè)為2h，開始。
5、烘烤完成
結(jié)束后檢查槍真空值，-般小于1X 10°mBar.關(guān)閉Gun Monitor。插入高壓頭，鎖緊。
